Omega/Theta XRD Mapping面掃功能

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能掃臺允許使用受控的網(wǎng)格模式來(lái)探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉盤(pán)頂部容納額外的XY定位平臺。樣品表面可以根據用戶(hù)定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線(xiàn)光斑的大小，小的網(wǎng)格間距約為1毫米。

繪圖階段可以與Omega掃描結合起來(lái)，以獲得晶體方向圖，或與搖擺曲線(xiàn)測量結合起來(lái)，以獲得表面的扭曲圖?？商峁┯糜陲@示和分析的軟件包。

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能

是診斷晶體生長(cháng)過(guò)程中和制造過(guò)程中出現的質(zhì)量問(wèn)題的一個(gè)寶貴工具

即使在單晶中，晶體取向也可以在表面上表現出微小的變化，這是由晶格缺陷引起的內部應變造成的。有序生長(cháng)的薄膜也可以有一個(gè)有趣的面內取向分布。

繪制一個(gè)表面需要大量的測量。在這里，歐米茄掃描方法可以提供其速度方面的優(yōu)勢。圖中顯示的是在一個(gè)（Si，Ge）固溶體晶片上測量的取向圖。較大的方向差是0.03°。同心圓是按照晶體的生長(cháng)環(huán)進(jìn)行的。