Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑:
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創(chuàng )立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線(xiàn)檢測計數裝置,名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開(kāi)發(fā) Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 - 振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線(xiàn)衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺石英分選系統
◆ 2015 - X 射線(xiàn)技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國工匠精神-三代X射線(xiàn)工程師
Omega/Theta XRD - X射線(xiàn)晶體定向儀產(chǎn)品優(yōu)勢:
◆ 采用Omega-scan掃描方法
◆ 測試速度快: 5s
◆ 測角精度高: 0.003
◆ 兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能
◆ 磨拋定向解決方案
◆ 擁有晶錠粘接轉移的技術(shù)(堆垛 stacking)專(zhuān)為SiC工業(yè)設計,被多家SiC襯底頭部企業(yè)青睞,如:II-VI Advanced Materials, SiCrystal等,國外四分之三的碳化硅制造商依賴(lài)Freiberg Instruments公司的晶體取向測量技術(shù),極大提高了生產(chǎn)效率,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
◆ Mapping 面掃功能,搖擺曲線(xiàn)測定
◆ 易于集成到工藝線(xiàn)中
◆ MES和/或SECS/GEM接口
◆ 傾斜的典型標準偏差(例如:Si 100):< 0.003 °,小于< 0.001 °
Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀是一個(gè)全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀,用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對各種晶體進(jìn)行取向測定和搖擺曲線(xiàn)測量。大而寬敞的設計可以容納長(cháng)度達450毫米、重量達30公斤的樣品和樣品架。
所有的測量都是自動(dòng)化的,可以從用戶(hù)友好的軟件界面上的訪(fǎng)問(wèn)。使用Omega掃描,可以在晶體旋轉時(shí)(5秒)確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,但每次掃描只能得到一個(gè)取向成分。傾斜角可以以非常高的精度確定;使用Theta掃描可以達到0.001°。對于所有其他晶體方向,精度取決于與表面垂直的角差。
該系統是模塊化的,已經(jīng)配備了許多不同的擴展,用于特殊的目的,如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過(guò)光學(xué)測量檢測出來(lái)的,并可用于校正所產(chǎn)生的方向。
Omega/Theta XRD - X射線(xiàn)晶體定向儀:
◆ 全自動(dòng)完整的單晶體晶格取向測量
◆ 使用歐米茄掃描法進(jìn)行超快速的晶體取向測量
◆ 自動(dòng)搖動(dòng)曲線(xiàn)測量功能
◆ 衍射儀的角度分辨率:0.1角秒。
◆ 樣品尺寸可達450毫米
◆ 適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制和研究
用戶(hù)友好,成本效益高:
◆ 方便的樣品處理,易于操作
◆ *的、用戶(hù)友好的軟件
◆ 能源消耗和運行成本低
◆ 模塊化設計,靈活性強
◆ 各種升級選項
◆ 根據用戶(hù)的要求進(jìn)行定制
選配功能:
◆ 自動(dòng)Mapping面掃功能
◆ Omega/Theta – 晶錠粘接轉移的技術(shù)(堆垛 stacking)
◆ Omega/Theta - 搖擺曲線(xiàn)測量
◆ Omega/Theta - 定制的樣品臺
◆ 用于樣品形狀測量的激光掃描儀
◆ 光學(xué)檢測,用于平面和凹槽檢測
◆ 額外的樣品旋轉軸用于3D繪圖
◆ 二級通道切割準直器(分析器)
◆ 用于樣品調整的設備
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