MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命

?公司簡(jiǎn)介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開(kāi)發(fā)一系列快速、無(wú)損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗；2015年又整合了EFG的X射線(xiàn)衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿(mǎn)活力，專(zhuān)業(yè)又具有創(chuàng )新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應用于劑量學(xué)、醫學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測定和x射線(xiàn)衍射等領(lǐng)域。 

?產(chǎn)品介紹

 --弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無(wú)損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設計*符合SEMI標準PV9-1110。

 --這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優(yōu)化以及常規質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領(lǐng)域被廣泛應用?？梢哉f(shuō)，MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）算得上是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標準儀器。

?特性&優(yōu)勢:

 --無(wú)接觸和無(wú)破壞的半導體檢測；

 --特殊“underneath the surface”壽命測量技術(shù)；

 --對不可見(jiàn)缺陷的可視化測試具有很高靈敏度；

 --自動(dòng)設置硅錠切割標準；

 --空間分辨p/n電導型變換檢測；

 --多項數據同時(shí)自動(dòng)檢測掃描，5幅測量圖形同時(shí)繪制；

 --堅固耐用的設計和易于設置的性能。安裝，僅需要電源。

?應用實(shí)例

-1.日常壽命測量，質(zhì)量控制和檢驗

 --產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天
 --測量速度：對于156x156x400mm標準晶錠，<4分鐘
 --良品率提升：1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
 --質(zhì)量控制：用于過(guò)程和材料的質(zhì)量監控，如單晶硅或多晶硅
 --沾污檢測：起源于坩堝和生產(chǎn)設備的金屬(Fe)
 --可靠性：模塊化和堅固耐用的工業(yè)儀器，更高可靠性，運行時(shí)間> 99%
 --可重復性:> 99.5%
 --電阻率：可做面掃描，不需經(jīng)常校準

-2. 精密材料研發(fā)

 --a.鐵濃度測定
 --b.陷阱濃度測定
 --c.硼氧測定
 --d.依賴(lài)于注入的測量等