MDP高速晶圓片在線(xiàn)面檢測儀--少子壽命檢測

?公司簡(jiǎn)介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開(kāi)發(fā)一系列快速、無(wú)損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗；2015年又整合了EFG的X射線(xiàn)衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿(mǎn)活力，專(zhuān)業(yè)又具有創(chuàng )新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應用于劑量學(xué)、醫學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測定和x射線(xiàn)衍射等領(lǐng)域。

?產(chǎn)品介紹 

MDPinline（MDP高速晶圓片在線(xiàn)面檢測儀--少子壽命檢測）是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過(guò)工廠(chǎng)安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內，就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個(gè)晶圓片提供完整的拓撲結構，有效提高了生產(chǎn)線(xiàn)的成本效益和效率。且其實(shí)時(shí)質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。 

?產(chǎn)品優(yōu)勢

 --MDPinline（MDP高速晶圓片在線(xiàn)面檢測儀--少子壽命檢測）可以在不到一秒的時(shí)間內，可對一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線(xiàn)掃描)。

 --在非常短的時(shí)間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠(chǎng)控制過(guò)程和生產(chǎn)。

 --適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結晶問(wèn)題，例如在光伏行業(yè)。

 --適用于擴散過(guò)程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

Multicrystalline silicon wafers

?技術(shù)參數