X射線(xiàn)衍射儀-單晶硅定向儀

弗萊貝格Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動(dòng)的晶格定位和樣品校準的在線(xiàn)解決方案，我們專(zhuān)注于超高速和準確的 Omega掃描方法，可在幾秒鐘內確定完整的晶體取向?？商砑佣S(X-Y)或三維掃描，全自動(dòng)化的搖擺曲線(xiàn)測量，使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質(zhì)量控制環(huán)節中一個(gè)重要組成部分。

?應用范圍

作為快速、簡(jiǎn)單、可靠的X射線(xiàn)單晶定向儀，弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量控制、材料研發(fā)等領(lǐng)域，主要用于超高速晶體定向和搖擺曲線(xiàn)的測量。

?應用技術(shù)

• 可用于生產(chǎn)的立式XRD
• 轉移技術(shù)：可高效率進(jìn)行多個(gè)鑄錠同時(shí)定向（堆疊）
• 同時(shí)測定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍寶石、渦輪葉片等200多種晶體材料）幾乎所有晶體方向取向。
• 快速測量晶體取向，測量時(shí)間僅需5秒，精度：0.003°
• 自動(dòng)晶片分類(lèi)和處理
• 搖擺曲線(xiàn)測量和3Dmapping繪圖 、晶圓表面翹曲度偏差檢測
• 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
• 設備操作簡(jiǎn)單、快捷、方便，適用于各研究機構和全自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)

?應用實(shí)例

案例1：

藍寶石取向 mapping、搖擺曲線(xiàn)測量：窄反射峰=表面質(zhì)量好

案例2：

SiC 取向 mapping、搖擺曲線(xiàn)測量：寬反射峰=晶體表面局部干擾

案例3：

碳化硅晶圓檢測案例——晶體取向mapping

1.總傾斜偏差mapping

2.表面傾斜偏差mapping

3.垂直方向傾斜偏差mapping

4.水平傾斜偏差mapping

5.搖擺曲線(xiàn)mapping